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InGaAs上へのAlOのALD成長による良好なMIS界面特性の実現
(Quality MIS interfaces formed by ALD growth of Al2O3 on InGaAs)

安田哲二, 宮田典幸, 石井裕之, 板谷太郎, 市川麿, 福原昇, 秦雅彦, 大竹 晃浩, 灰本隆志, 星井拓也, 竹中充, 高木信一.
2008年秋季　第69回応用物理学会学術講演会. 2008.

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    Created at: 2017-02-14 11:06:20 +0900Updated at: 2017-07-10 20:23:12 +0900

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