酸化亜鉛基薄膜中の欠陥状態・欠陥濃度に対する成膜雰囲気と添加物の影響
(Effects of growth ambient and doping on concentration and chemical state of defects in ZnO films)
2004年春季応用物理学関係連合講演会. 2004. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:51:45 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:40:06 +0900