フルオロシランからの同位体制御Si膜のオンライン生成
(On-line formation of Isotapically Controlled Si films from Fluoro-Silane)
3rd International Symposium on Advanced Physical Fields. 1998-02-18.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-18 01:26:49 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:47:42 +0900