スパッタリング法によるマイクロアクチュエータ用Ti-Ni形状記憶薄膜の作製.
(Formation of Ti-Ni Shape Memory Thin Films for Microactuators by Sputtering Method.)
表面技術協会. 1991年11月06日-1991年11月08日.
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作成時刻: 2017-02-18 00:22:19 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:12:10 +0900