多孔質アルミナ、Ti ステンシルマスクによる イオンビームパターニンク
(Ion Beam patterning with porous alumina mask and Ti stencil mask)
NIMS量子ビームプロジェクト公開シンポジウム2011. 2011.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:06:53 +0900更新時刻: 2018-06-05 12:55:06 +0900