集束荷電ビーム描画法によるSi基板上へのセラミックス前駆体のパターニング
(Patterning of ceramics precursors on Si wafer by drawing method with a focused ion beam)
2001日本セラミックス協会春期年会. 2001年03月21日-2001年03月23日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 02:12:06 +0900 更新時刻: 2017-07-10 18:12:30 +0900