シリコンおよびゲルマニウムナノワイヤ中への不純物ドーピング制御と評価
(Doping and characterization of impurity atoms in silicon and germanium nanowires)
Nanowires 2011. 2011年06月13日-2011年06月19日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:57:34 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:43:31 +0900