Siの極薄酸化膜形成による微小表面応力の測定
(Surface Stress of ultra then oxide layer on Si(100))
表面学会 （第18回表面科学講演大会）. 1998年12月01日-1998年12月03日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:34:49 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:52:00 +0900