Micro- and Nano-structural Patterning with Ion Implantation Using Stencil Masks and Perturbation Methods
(ステンシルマスクと摂動法を用いたイオン注入によるマイクロ及びナノパターンニング)
16th Int. Conf. on Ion Beam Modification of Materials, IBMM2008. 2008.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:23:44 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:17:59 +0900