AlN 薄膜中の窒素イオンの拡散
(Nitrogen diffusion in AlN thin film)
2010年度セラミックス総合研究会. 2010年09月02日-2010年09月03日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:14:08 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:43:06 +0900