HOME > 口頭発表 > 書誌詳細AlN 薄膜中の窒素イオンの拡散(Nitrogen diffusion in AlN thin film)羽田 肇, 大橋 直樹, 大垣 武, 坂口 勲. 2010年度セラミックス総合研究会. 2010. 招待講演NIMS著者羽田 肇大橋 直樹大垣 武坂口 勲Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-01-08 04:14:08 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:43:06 +0900
