UV/Vapor-Assisted Hybrid Bonding Technology as a Tool for Future Nanopackaging
(UV/Vapor-assisted手法による大気圧低温でのハイブリッド接合技術)
IEEE NANO 2012. 2012年08月20日-2012年08月23日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 13:41:56 +0900 更新時刻: 2022-09-05 13:41:56 +0900