A High-Current Negative-Ion Implanter and its Application for Nanocrystal Fabrication in Insulators
(大電流負イオン注入装置およびその絶縁体中ナノ結晶生成への応用)
第１２回 イオン注入工学国際会議、12th Intern. Conf. On Ion Impla. 1998-06-22.
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作成時刻: 2017-01-08 03:22:40 +0900 更新時刻: 2023-04-09 15:08:57 +0900