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著者名山本道詞, 寺地 徳之, 伊藤利道.
タイトルホモエピタキシャルCVDダイヤモンド薄膜合成における前処理プロセスの検討
(English title)
会議名第52回応用物理学関係連合講演会
発表年2005
言語Japanese

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