Vacuum Ultraviolet (VUV) / Vapor-Assisted Bonding for Organic / Inorganic Hybrid Integration
(真空紫外光照射ならびに水和物架橋形成を利用した低温大気圧有機無機混載接合)
SSDM 2014. 2014年09月08日-2014年09月10日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-10-22 02:15:20 +0900更新時刻: 2022-10-22 02:15:20 +0900