Ultramicro Fabrications on Fe-Ni Alloys Using Electron-Beam Writing and Reactive-Ion Etching
(電子線描画法と反応性イオンエッチング法によるFe-Ni合金の超微細加工)
International Magnetic Conference 96. 1996年04月09日-1996年04月12日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:40:15 +0900 更新時刻: 2023-04-09 15:03:31 +0900