VUV-Assisted Low Temperature Bonding For Organic/Inorganic Hybrid Integration at Atmospheric Pressure
(真空紫外光照射補佐による有機・無機基板の低温大気圧一括積層)
IEEE CPMT Symposium Japan 2013. 2013年11月11日-2013年11月13日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 14:11:11 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:44:47 +0900