Lu下地層導入によるScAlNのSc固溶量増大とミクロ組織改質
(Extending Sc solubility and modifying the microstructure of ScAlN by introducing a Lu buffer layer)
日本顕微鏡学会 第81回学術講演会. 2025年06月09日-2025年06月11日.
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作成時刻: 2025-11-03 03:09:24 +0900 更新時刻: 2025-11-03 03:09:24 +0900