低エネルギー集束イオンビームによるGaAs基板へのGaイオンの照射効果
(Radiation Effect of Ga Ion to GaAs Substrate by Low Energy Focused Ion Beam)
表面科学講演大会 第16回. 1996年11月28日-1996年11月29日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:11:02 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:39:35 +0900