シリコン酸化表面の微小応力の測定
(The Surface Stress in Ultrathin Oxide Layer)
第２２回表面科学研究会ー表面反応とダイナミクスー. 1999-02-18.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-18 01:38:43 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:54:03 +0900