HOME > Presentation > Detail電子デバイスにおける原子層堆積技術の有効性(Impact of atomic layer deposition technique on electronic device)生田目 俊秀. 第5回エレクトロニクス薄膜材料研究会. 2017-11-02. InvitedNIMS author(s)NABATAME, ToshihideFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2017-10-25 22:52:02 +0900Updated at: 2024-03-05 12:20:18 +0900