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イオン注入・熱酸化法による絶縁体中への酸化物ナノ粒子の形成

第4回つくばテクノロジー・ショーケース. 2005-01-31.

NIMS著者


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    作成時刻: 2017-02-14 10:57:21 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:09:20 +0900

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