TiN/Ti/Si系の深さ方向解析.
(Depth Profile Analysis on TiN/Ti/Si(001) Material.)
日本材料科学会. 1992-05-15.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-14 11:39:01 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:13:16 +0900