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高融点金属および高融点金属窒化物ゲート電極のHigh-kトランジスタ適用検討

谷淳, 庄司秀行, 青山知憲, 久米聡, 繁田幹也, 小川修, 白石 賢二, 上殿 明良, 山部 紀久夫, 知京 豊裕, 中島 清美, 安平光雄, 山田 啓作, 有門経敏.
2005年春季 第52回応用物理学関係連合講演会. 2005.

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    作成時刻: 2017-02-14 11:06:22 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:16:28 +0900

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