イオンビームを基礎とした相互作用場を制御したナノファブリケーション及びイオンビーム投影パターンニング
(Ion-beam-based Nanofabrication by Controlling Interactive Fields and Ion-beam Projection Patterning)
第18回日本MRS学術シンポジウム. 2007.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:56:53 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:02:03 +0900