Pick and Place Operaion of a Micro Object with High Reliability and Precision Based on Micro Physics under SEM
(走査電子顕微鏡下特有のマイクロ物理学に基づいた微少物体の高再現性・高精度ピック・プレース操作)
1999IEEE International Conference on Robotics and Automation. 1999年05月10日-1999年05月15日.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-09-05 10:59:09 +0900 更新時刻: 2022-09-05 10:59:09 +0900