HOME > 口頭発表 > 書誌詳細Silicon Carbide Formation on Si wafer via LPCVD CarbonizationZHANG, Pengyu, ZHANG, Qinqiang, JEVASUWAN, Wipakorn, FUKATA, Naoki. 2025年 第72回応用物理学会 春季学術講演会. 2025年03月14日-2025年03月17日.NIMS著者張 鵬宇ジェバスワン ウイパコーン深田 直樹Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2025-05-15 11:23:15 +0900 更新時刻: 2025-05-15 11:23:15 +0900
