HOME > Presentation > Detail原子層微細デバイスの放射光スペクトルイメージング ~インフォマティクスを活用したデータ解析~(Spectral imaging of atomic layer micro-devices using synchrotron soft X-rays ~high--throughput data analysis using informatics technique~)永村 直佳. NIMS先端計測シンポジウム2021 ~オペランド・先端計測のデジタルトランスフォーメーション(DX)~. 2021-03-05.NIMS author(s)NAGAMURA, NaokaFulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)Created at: 2022-01-26 10:06:47 +0900Updated at: 2022-01-26 10:06:47 +0900