SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > Presentation > Detail

原子層微細デバイスの放射光スペクトルイメージング ~インフォマティクスを活用したデータ解析~
(Spectral imaging of atomic layer micro-devices using synchrotron soft X-rays ~high--throughput data analysis using informatics technique~)

NIMS先端計測シンポジウム2021 ~オペランド・先端計測のデジタルトランスフォーメーション(DX)~. 2021-03-05.

NIMS author(s)


Fulltext and dataset(s) on Materials Data Repository (MDR)


    Created at: 2022-01-26 10:06:47 +0900Updated at: 2022-01-26 10:06:47 +0900

    ▲ Go to the top of this page