集束した電子ビームによる位置と大きさを制御した金属構造のナノファブリケーション
(Nanofabrication of position and size controlled metal structures with focused electron beam)
第1回アクティブナノ解析技術国際シンポジウム. 2003年11月12日-2003年11月14日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:49:42 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:39:58 +0900