SAMURAI - NIMS Researchers Database

HOME > 口頭発表 > 詳細

EB描画パターニングによる Si基板上の AlOx-ReRAMの開発
(Development of AlOx-ReRAM on Si substrate using by electron beam patterning)

著者李 政祐, 中野 嘉博, 児子 精祐, 加藤 誠一, 北澤 英明, 木戸 義勇.
会議名2009年春季 第56回応用物理学関係連合講演会
発表年2009
言語Japanese

▲ページトップへ移動