Polarity Control of GaN and AlN Thin Films by All Sputtering Process
International Workshop on Magnetron Sputter Epitaxy 2023. 2023年10月19日-2023年10月20日. 招待講演
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2023-11-30 03:15:58 +0900更新時刻: 2024-01-09 03:09:52 +0900