赤外レーザによるSi2F6の同位体選択分解
(Isotope Selective Decomposition of Si2F6 by IR Laser)
日本金属学会 秋期大会. 1996年09月28日-1996年09月30日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-02-18 01:07:43 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:37:51 +0900