プラズマビーム法によるCrN薄膜の面内配向とその成長機構
(In-Plane Texturing and Its Mechanism of CrN Thin Films by Plasma-Beam Assistod Deposition)
表面技術協会講演大会. 1996年03月21日-1996年03月23日.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-01-08 04:13:43 +0900 更新時刻: 2017-07-10 17:35:35 +0900