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著者名桑野聡子, 藤川安仁, 長尾 忠昭, 中山幸仁, 櫻井利夫.
タイトルシリコン(111)表面上におけるフッ素の拡散過程
会議名平成16年秋季第65回応用物理学会学術講演会
発表年2004
言語Japanese
外部での文献参照

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