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シリコン(111)表面上におけるフッ素の拡散過程

桑野聡子, 藤川安仁, 長尾 忠昭, 中山幸仁, 櫻井利夫.
平成16年秋季第65回応用物理学会学術講演会. 2004.

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    作成時刻: 2017-02-14 11:19:22 +0900更新時刻: 2018-05-30 19:27:48 +0900

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