高出力MWPCVDホモエピタキシャルダイヤモンド成長における最適成長条件の基板結晶品質依存性
(Dependence of substrate crystalline quality on optimal temperatures for homoepitaxial growth of high-quality CVD diamond)
第19回ダイヤモンドシンポジウム. 2005.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 04:52:56 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:30:35 +0900