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著者名宮武 秀宇, 寺地 徳之, 伊藤利道.
タイトル高出力MWPCVDホモエピタキシャルダイヤモンド成長における最適成長条件の基板結晶品質依存性
(Dependence of substrate crystalline quality on optimal temperatures for homoepitaxial growth of high-quality CVD diamond)
会議名第19回ダイヤモンドシンポジウム
発表年2005
言語Japanese

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