MBE法で作製したScN薄膜の光・電気特性におけるSc/N比の影響
(Influence of Sc/N ratio on the optical and electric properties of ScN films prepared by molecular beam epitaxy)
第27回秋季シンポジウム. 2014.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:40:51 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:54:34 +0900