FIB-SEMによる膜厚制御TEM試料作製技術の確立
(Thickness-controllable TEM sample preparation method by using the FIB-SEM system)
日本顕微鏡学会第80回学術講演会. 2024年06月03日-2024年06月05日.
NIMS著者
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作成時刻: 2024-06-05 03:12:43 +0900 更新時刻: 2024-06-05 03:12:43 +0900