反応性RFスパッタリングによる窒素ドープSiナノ結晶の作製
(Fabrication of nitrogen-doped silicon nanoparticles by reactive RF sputtering)
E-MRS 2012 FALL MEETING. 2012.
NIMS著者
Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット
作成時刻: 2017-01-08 04:06:17 +0900更新時刻: 2017-07-10 21:28:34 +0900