HOME > 口頭発表 > 書誌詳細低酸素GaNスパッタリングターゲットを用いた高結晶性GaNの作製と評価(Fabrication and characterization of high quality sputtered GaN film by low oxygen GaN target)末本 祐也, 上岡 義弘, 召田 雅実, サン リウエン, 長田 貴弘. 第81回 応用物理学会 秋季学術講演会. 2020.NIMS著者サン リウエン長田 貴弘Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2020-12-09 03:00:18 +0900更新時刻: 2020-12-09 03:00:18 +0900