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分子線酸素ビーム照射下その場観察XPSによる GaN表面酸化の面方位依存性

浅井 祐哉, 関慶祐, 吉越章隆, 隅田真人, 上殿明良, 石垣 隆正, 角谷 正友.
第79回応用物理学会秋季学術講演会. 2018.

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    Created at: 2018-08-30 16:22:57 +0900Updated at: 2018-08-30 16:22:57 +0900

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