ナノパターン重イオン注入における近隣効果
(Proximity Effects of Nano-patterned Heavy-Ion Implantation)
第19回日本MRS学術シンポジウム. 2009.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 05:42:17 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:41:58 +0900