ZrOx系ReRAMにおける電極界面へのSiOx層挿入効果
(Effect of SiOx interlayer on electrical properties of ZrOx-based ReRAM)
2022年 第69回応用物理学会春季学術講演会. 2022.
NIMS著者
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作成時刻: 2022-04-12 03:25:28 +0900更新時刻: 2022-04-12 03:25:28 +0900