Self-temperature-compensated GaN MEMS resonator through strain engineering
(歪みによる自己温度補償型窒化物MEMS振動子)
第82回応用物理学会秋季学術講演会. 2021.
NIMS著者
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作成時刻: 2021-09-16 03:00:24 +0900更新時刻: 2021-09-16 03:00:24 +0900