HOME > 口頭発表 > 書誌詳細コンビナトリアル材料探索およびデバイス作製のための小型クラスター真空装置モジュールの集積化(Integration of miniature cluster chamber modules for combinatorial material exploration and device fabrication)伊高 健治, 知京 豊裕, 鯉沼秀臣, 片山正士, 大西剛, Mikk Lippmaa. 2009 MRS spring meeting. 2009. 招待講演NIMS著者知京 豊裕Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-01-08 03:29:44 +0900更新時刻: 2024-03-05 11:42:21 +0900