コンビナトリアル材料探索およびデバイス作製のための小型クラスター真空装置モジュールの集積化
(Integration of miniature cluster chamber modules for combinatorial material exploration and device fabrication)
2009 MRS spring meeting. 2009年04月13日-2009年04月17日. 招待講演
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 03:29:44 +0900 更新時刻: 2024-03-05 11:42:21 +0900