HOME > 口頭発表 > 書誌詳細Characteristics of high-k thin films by atomic layer deposition生田目 俊秀. PRICM9. 2016.NIMS著者生田目 俊秀Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-01-08 04:54:46 +0900更新時刻: 2017-07-10 22:18:14 +0900