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GaNへのMgイオン注入により形成される結晶欠陥とMg凝集のアクセプタ形成に与える影響
(The impacts on acceptor formations of extended defects and Mg agglomeration in Mg-ion-implanted GaN)

狩野 絵美, 大築 立旺, 片岡 恵太, 埋橋 淳, 櫻井 秀樹, 上殿 明良, 成田 哲生, Sierakowski Kacper, Bockowski Michal, 小林 功季, 大久保 忠勝, 宝野 和博, 加地 徹, 五十嵐 信行.
2022年 第83回 応用物理学会秋季学術講演会. September 20, 2022-September 23, 2022.

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    Created at: 2022-12-15 03:24:48 +0900Updated at: 2022-12-15 03:24:48 +0900

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