HOME > 口頭発表 > 書誌詳細シリコン上極薄誘電膜中の捕獲電荷のナノスケールイメージングとX線分光(Nanoscale Imaging and X-Ray Spectroscopy of Bound Charge in Ultra Thin Dielectrics on Silicon)S. Bernardini, 石井 真史, E. Whittaker, B. Hamilton, J.W. Freeland, S. De Gendt. Insulating Films on Semiconductors 2007. 2007.NIMS著者石井 真史Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット作成時刻: 2017-01-08 05:20:14 +0900更新時刻: 2017-07-10 19:52:34 +0900