シリコン上極薄誘電膜中の捕獲電荷のナノスケールイメージングとＸ線分光
(Nanoscale Imaging and X-Ray Spectroscopy of Bound Charge in Ultra Thin Dielectrics on Silicon)
Insulating Films on Semiconductors 2007. 2007年06月20日-2007年06月23日.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-01-08 05:20:14 +0900 更新時刻: 2017-07-10 19:52:34 +0900