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Formation of Isotope Controlled SiC Thin Film by Plasma Chemical Vapor Deposition and its Characterization

APF-9. 2004.

NIMS著者


Materials Data Repository (MDR)上の本文・データセット


    作成時刻: 2022-09-05 11:31:53 +0900更新時刻: 2022-09-05 11:31:53 +0900

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