分子線エピタキシー法によるAl14N薄膜、Al15N薄膜の合成
(Synthesis of Al14N and Al15N Films by Molecular Beam Epitaxy)
The 6th Asian Meeting on Electroceramics (AMEC6). 2008.
NIMS著者
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作成時刻: 2017-02-14 11:30:12 +0900更新時刻: 2017-07-10 20:14:25 +0900