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| 著者名 | FIORI, Jean-Yves Alexandre, TERAJI, Tokuyuki. |
|---|---|
| タイトル | Diamond etching under high B/C gas ratios |
| 会議名 | 27th International Conference on Diamond and Carbon Materials |
| 発表年 | 2016 |
| 言語 | English |
| 著者名 | FIORI, Jean-Yves Alexandre, TERAJI, Tokuyuki. |
|---|---|
| タイトル | Diamond etching under high B/C gas ratios |
| 会議名 | 27th International Conference on Diamond and Carbon Materials |
| 発表年 | 2016 |
| 言語 | English |