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無酸素パラジウム/チタン薄膜を用いた新しい非蒸発型ゲッター(NEG)コーティングの電子顕微鏡観察

宮澤徹也, 橋本 綾子, 山中 操, 間瀬一彦, 菊池貴司.
VACUUM2018真空展. 2018.

NIMS著者


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    作成時刻: 2018-09-07 16:20:40 +0900更新時刻: 2018-09-07 16:20:40 +0900

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